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    小型真空等離子(實驗室真空等離子)
    • 產品分類:真空等離子
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    • 聯系人:游先生 18968946288
    • 周小姐 18658398989

    產品信息

    產品參數

    項目 規格
    1 設備尺寸 530mm*538mm*674 mm(W*H*D)
    2 電力需求 AC220V,50HZ
    3 腔體尺寸 尺寸:210mm*210mm*220mm(W*H*D),9L 材質:鋁合金
    4 電極形式 內置平板式電極,尺寸:180*185mm;
    5 托盤載物 單層載物面積:150*170mm,共 2 層
    6 真空泵 油泵,抽速:3L/S,極限真空:1Pa
    7 等離子發生源 高頻 40kHZ,500w 連續可調
    8 進氣系統 共 2 路進氣;0-500sccm 質量流量控制器
    9 控制系統 PLC+觸摸屏
    10 真空測量系統 日本愛發科皮拉尼真空計
    11 處理時間 0-15min
    12 工作真空度 5-80Pa
    13 可使用氣體 Ar、O2、N2、Ar+ H2、空氣等
    14 權限設置 兩級權限

     

    設備外形及尺寸參考圖

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